真空泵
大晃机械的真空泵是源于长年累积起来的螺杆泵的生产技术。由于它具有干式真空的特点，被广泛用于化工，半导体等多种领域，在长时间连续运转中，也能保持其稳定性和耐久性。
半导体制造工程、FPD制造工程、太阳能电池制造工程
| 系列 |
型录 |
泵类型 |
抽速(L/min) |
真空度式(Pa) |
| TD |
型录下载 |
螺杆真空泵(注:自带控制器型) |
650 to 3,000 |
to 0.7 |
| BEH |
型录下载 |
螺杆真空泵 |
7,000-30,000 |
to 0.08 |
| TRIC |
型录下载 |
螺杆真空泵 |
3,000 to 6,000 |
to 0.8 |
研究所・实验室用真空泵
| 系列 |
型录 |
类型 |
抽速(L/min) |
真空度式 |
| TDA |
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螺杆真空泵(注: 空冷式) |
150-700 |
to 1.0 |
医药品制造工程、化学品制造工程、拉单晶工程
| 系列 |
型录 |
泵类型 |
抽速(L/min) |
真空度式(Pa) |
| MDP |
型录下载 |
螺杆真空泵 |
1,100 to 35,000 |
to 0.7 |
| SLT |
型录下载 |
螺杆真空泵 |
1,100 to 35,000 |
to 0.08 |
| TRDS |
型录下载 |
螺杆真空泵(注:含机械式助力泵) |
to 35,000 |
to 0.7 |
| 系列 |
型录 |
泵类型 |
抽速(L/min) |
真空度式(Pa) |
| SDV |
型录下载 |
螺杆真空泵(注:空气专用) |
500 to 11500 |
to 10 |
| SDF |
型录下载 |
螺杆真空泵(注:空气专用 / 空冷式) |
500 to 850 |
to 30 |