真空幫浦
大晃機械的真空幫浦是源於長年累積起來的螺旋幫浦的生產技術。由於它具有乾式真空的特點,被廣泛用於化工,半導體等多種領域,在長時間連續運轉中,也能保持其穩定性和耐久性
。
半導體製造工程、FPD製造工程、太陽能電池製造工程
系列 |
型錄 |
幫浦類型 |
抽速(L/min) |
真空度式(Pa) |
TD |
型錄下載 |
螺旋式真空幫浦(註:自帶控制器型) |
650 to 3,000 |
to 0.7 |
BEH |
型錄下載 |
螺旋式真空幫浦 |
7,000-30,000 |
to 0.08 |
TRIC |
型錄下載 |
螺旋式真空幫浦 |
3,000 to 6,000 |
to 0.8 |
研究所・實驗室用真空幫浦
系列 |
型錄 |
類型 |
抽速(L/min) |
真空度式 |
TDA |
型錄下載 |
螺旋式真空幫浦(註: 空冷式) |
150-700 |
to 1.0 |
醫藥品製造工程、化學品製造工程、拉單晶工程
系列 |
型錄 |
幫浦類型 |
抽速(L/min) |
真空度式(Pa) |
MDP |
型錄下載 |
螺旋式真空幫浦 |
1,100 to 35,000 |
to 0.7 |
SLT |
型錄下載 |
螺旋式真空幫浦 |
1,100 to 35,000 |
to 0.08 |
TRDS |
型錄下載 |
螺旋式真空幫浦(註:含機械式助力幫浦) |
to 35,000 |
to 0.7 |
系列 |
型錄 |
幫浦類型 |
抽速(L/min) |
真空度式(Pa) |
SDV |
型錄下載 |
螺旋式真空幫浦(註:空氣專用) |
500 to 11500 |
to 10 |
SDF |
型錄下載 |
螺旋式真空幫浦(註:空氣專用 / 空冷式) |
500 to 850 |
to 30 |